机译:用于先进热机应用的氮化硅部件微波处理的开发 - 具有高添加剂含量的氮化硅的微波退火。 CRaDa最终报告CRaDa编号ORNL90-0035
Heat Engines; Silicon Nitrides; Crystal Growth; Fracture Properties; Heat Resistant Materials; Hot Pressing; Mechanical Properties; Microwave Heating; Phase Studies; Progress Report;
机译:先进的低电子温度微波激发高密度等离子体系统在低温(400)和高生长速率下用于半导体器件制造的氧化硅和氮化硅薄膜的生长
机译:28 GHz微波退火增强氮化硅的生长
机译:通过28 GHz微波退火增强氮化硅生长的增强
机译:微波光子仪过滤器使用氮化硅可编程处理器,配有折叠加热器
机译:以氧化锆为辅助添加剂的氮化硅的微波烧结
机译:用于非线性信号处理应用的富硅氮化硅
机译:用于先进热机应用的氮化硅部件微波处理的开发 - 具有高添加剂含量的氮化硅的微波退火。 CRaDa最终报告CRaDa编号ORNL90-0035