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机译:用于具有环形场的极紫外光刻相机的照明器
Sweatt, W C;
EDB/426000; Lithography;
机译:傅立叶合成定制相干照明器,用于极紫外微场光刻
机译:两台新的10倍Microstepper极紫外光刻相机的多层镀膜和光学测试
机译:用于极紫外光刻的三非球面镜投影相机的照明系统设计
机译:用于极端紫外线光刻发光器的菱形基板的平滑
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:迈向极紫外光刻的高精度反射计
机译:用于极紫外微区域光刻的傅里叶合成定制相干照明器
机译:环形场深紫外和极紫外光刻的聚光镜
机译:用于极紫外光刻的极紫外辐射产生装置具有包括电容器电池的高压供应单元,该电容器包括沿圆环布置的电容器单元。
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