Actuators; Microelectronic Circuits; Fabrication; Gears; Masking; Spatial Resolution; X Radiation; Meetings;
机译:用于批量制造基于聚合物的厚天线结构的深X射线光刻工艺
机译:通过微机械铣削直接制造深X射线光刻掩模
机译:使用硬X射线进行深X射线光刻的厚PMMA曝光和处理的表征
机译:用于微力学的深层X射线光刻
机译:基于深度学习的基于深度学习的基于立体光刻(SLA)3D打印过程的应力预测
机译:基于深X射线光刻技术的高纵横比锥形微柱的制备
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统