Glow Discharges; Ion Pairs; Plasmas(Physics); Anions; Cations; Experimental Data; Hydrocarbons; Mass Spectroscopy; Quadrupoles; Silanes; Tables(Data);
机译:在超高频等离子体增强化学气相沉积过程中探测硅烷尘埃等离子体中的周期性振荡
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