Electric Discharges; Integrated Circuits; Angular Distribution; Argon Ions; Etching; Ionized Gases; Plasma Density;
机译:电感耦合氩气放电中电子能量分布随氦气稀释的变化
机译:电感耦合氩气放电中电子能量分布随氦气稀释的变化
机译:关于电子耦合氩放电的电子能量分布函数的磁滞和模式转变
机译:射频偏置感应耦合氯等离子体中晶圆上离子能量和角度分布的二维模拟
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:使用激光消融电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)对组织中2 nm单层保护的金纳米颗粒分布进行定量成像
机译:电感耦合氩射频放电中的离子能量和角分布
机译:电感耦合氩射频放电中的离子能量和角分布