Chemical Vapor Deposition; Chemical Reactions; Chemical Reactors; Computerized Simulation; Design; Fluid Flow; Optimization; Parallel Processing; Three-Dimensional Calculations;
机译:卧式化学气相沉积反应器中三维流场和热场的计算
机译:撞击化学气相沉积反应器中氧化锡沉积的计算流体动力学模型
机译:热丝化学气相沉积反应器中六甲基乙硅烷在热钨丝上的分解和气相反应
机译:用遗传算法对化学气相沉积反应器沉积轮廓的计算方法,用于使用反应机制自动建模系统
机译:多尺度计算流体动力学建模:并行化及其在薄膜太阳能电池等离子体增强化学气相沉积设计和控制中的应用
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:在化学气相沉积反应器中大规模并行计算3D流动和反应