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Reduced Order Based Compensator Control of Thin Film Growth in a CVD Reactor

机译：基于降阶的补偿器控制CVD反应器中薄膜的生长

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作者
Banks, H. T. ; Tran, H. T.;
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作者单位

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年度 2000
页码 1-18
总页数 18
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Thin films; Chemical vapor deposition; Mathematical models; Control theory; Optimization; Growth(General);

机译：薄膜;化学气相沉积;数学模型;控制理论;优化;生长（一般）;

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