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Acoustic Sensing with Capacitive Micromachined Membranes and Radio Frequency Detection.

机译：电容微机械膜和射频检测的声学传感。

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作者
Hansen, S. T.; Ergun, A. S.; Khuri-Yakub, B. T.;
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年度 2001
页码 1-10
总页数 10
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Radiofrequency; Acoustic detectors; Broadband; Acoustic signals; Microphones; Micromachining;

机译：射频;声学探测器;宽带;声学信号;麦克风;微机械加工;

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