RF-Trapped Chip Scale Helium Ion Pump (RFT-CHIP).

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• 作者

  Gianchandani, Y.; Kushner, M.; Green, S.; Markosyan, A.; Deng, S.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-38
• 总页数 38
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Ion pumps; Electrons; Radio frequency power; Microelectromechanical systems; Vacuum pumps; Microsystems; Electron trap; Magnet-less;

  机译：离子泵;电子;射频电源;微机电系统;真空泵;微系统;电子陷阱;无磁;