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Q3 Known Good Substrates; Quarterly technical rept. 1 Mar-31 May 2008, phase 2

机译：Q3已知良好的基材;季度技术报告。 2008年3月1日至5月31日，第2阶段

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The Known Good Substrates (KGS) Phase II program was initiated 29 August 2007. Wafer, epitaxy, modeling and metrology work has been the main focus of efforts in Q3. This technical report summarizes the progress by all team members against the tasks and milestones.

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作者
Loboda, M. J.; Carlson, E.; Chung, G.; Russel, B.;
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作者单位

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年度 2008
页码 p.1-9
总页数 9
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Substrates; Epitaxial growth; Metrics; Silicon carbides; Metrology; Materials; Wafers;

机译：基板;外延生长;度量;碳化硅;计量;材料;晶圆;

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