Permeability; Chemical vapor deposition; Reduction; Barriers; Nitrogen oxides; Tetrafluoroethylene resins; Expulsion bladders; Reprints; Thickness; Aluminum coatings; Construction; Walls; Utilization; High reliability;
机译:SiH_4后和等离子体处理对多孔低介电常数和Cu集成的化学气相沉积TiN阻挡层的化学气相沉积Cu种子的影响
机译:装备有循环化学气相沉积系统的气溶胶型液体前驱体输送系统包覆的SiN水蒸气渗透阻挡层的制备和表征
机译:通过在极低的压力下通过等离子体增强化学气相沉积法生长的SiN / SiCN / SiN纳米层压多层薄膜的长期稳定的水蒸气渗透阻挡性能
机译:化学气相沉积的聚四氟乙烯无定形含氟聚合物作为低功率集成电路的层间介电材料
机译:金属有机化学气相沉积的环境屏障涂层,以抑制固体沉积物形成的热喷气燃料。
机译:具有化学和表面可擦性的气相沉积活性涂层
机译:新型等离子体增强化学气相沉积法制备氧气阻隔涂层