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Handbook of Electronic Materials. Volume 6. Silicon Nitride for Microelectric Applications. Part 2. Applications and Device

机译：电子材料手册。第6卷。用于微电应用的氮化硅。第2部分。应用和设备

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作者
Milek, J. T.;
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作者单位

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年度 1972
页码 p.1-126
总页数 126
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Silicon nitrides; Microelectronics; Memory devices; Ceramic capacitors; Electrical properties;

机译：氮化硅;微电子;存储器件;陶瓷电容器;电气特性;

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