InP/SiO2 MIS Structure.

机译：Inp / siO2 mIs结构。

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This paper reports a procedure for the formation of compatible insulating thin films on InP. the chemical vapor deposition of hard glassy SiO2.

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作者
Messick, L.;
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作者单位

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年度 1976
页码 1-3
总页数 3
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Semiconductors; Vapor deposition; Pyrolysis; Metals; Insulation; Electrical resistivity; Capacitors; Silicon dioxide; Indium phosphides; Reprints; Metal insulator semiconductors; Chemical vapor deposition;

机译：半导体;气相沉积;热解;金属;绝缘;电阻率;电容器;二氧化硅;磷化铟;重印;金属绝缘体半导体;化学气相沉积;

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