Integrated circuits; Carrier mobility; Silicon; Silicon dioxide; Stresses; Zone melting; Films; Substrates; Recrystallization; Reprints; Very large scale integration; Very high speed integration;
机译:用于晶体硅薄膜太阳能电池的硅膜的区域熔化再结晶
机译:区域熔化再结晶产生的绝缘体上硅膜的应变分析
机译:准分子激光诱导的大型玻璃基板上硅薄膜的区域熔化再结晶及其在TFT中的应用
机译:在区域熔化再结晶的多晶硅膜中制造的MOSFET中应力增强的迁移率
机译:利用细胞自动机算法通过准分子激光对硅素薄膜进行快速熔融和重结晶的三维模拟。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:区域熔化重结晶制备的绝缘体上硅膜中电子束感应电流的测量
机译:siO2涂层衬底上区域熔化重结晶多晶硅薄膜的应力增强载流子迁移率