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The CLEFT Process: A Peeled Film Technique

机译：CLEFT工艺：去皮膜技术

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作者
Bozler, C. O.; McClelland, R. W.; Fan, J. C.;
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作者单位

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年度 1981
页码 p.1-10
总页数 10
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Semiconducting films; Single crystals; Epitaxial growth; Gallium arsenides; Substrates; Vapor phases; Cleavage; Reprints;

机译：半导体薄膜;单晶;外延生长;砷化镓;基板;气相;解理;重印;

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