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Gold Transmission Gratings with Submicrometer Periods and Thicknesses >0.5 Micrometers

机译：亚微米周期和厚度> 0.5微米的金色透射光栅

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作者
Hawryluk, A. M.; Ceglio, N. M.; Price, R. H.; Melngailis, J.; Smith, H. I.;
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作者单位

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年度 1981
页码 p.1-6
总页数 6
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Gratings(Spectra); Gold; Lithography; Holography; X rays; Silicon; Thinness; Reprints;

机译：光栅（光谱）;金;光刻;全息; X射线;硅;薄;重印;

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