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Fully Isolated Lateral Bipolar-MOS Transistors Fabricated in Zone-Melting-Recrystallized Si Films on SiO2.

机译：完全隔离的横向双极mOs晶体管在siO2上的区域熔化 - 再结晶si薄膜中制造。

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作者
Tsaur, B. Y.; Silversmith, D. J.; Fan, J. C. C.; Mountain, R. W.;
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作者单位

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年度 1983
页码 1-4
总页数 4
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Field effect transistors; Silicon; Oxides; Electrical insulation; Bipolar transistors; Recrystallization; Zone melting; Silicon dioxide; Reprints; Mosfets;

机译：场效应晶体管;硅;氧化物;电绝缘;双极晶体管;重结晶;区域熔化;二氧化硅;重印; mosfet;

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