Smart technology; Thin films; Conformal structures; Detectors; Electronics; Energy harvesting; Silicon; Structural health monitoring; Epidermal electronic systems; Flexible silicon strain gauges; Macroelectronics; Medical applications; Nanomembranes; Silicon electronics; Wearable electronics;
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机译:通过化学气相沉积在结构复杂的表面上形成共形聚合物薄膜。
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