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Thermal Oxidation of Reactively Sputtered Amorphous W80N20 Films

机译：反应溅射非晶W80N20薄膜的热氧化

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作者
Vu, Q. T.; Pokela, P. J.; Garden, C. L.; Kolawa, E.; Raud, S.;
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作者单位

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年度 1990
页码
总页数 5
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Thin films; Tungsten compounds; Silicon; Reprints;

机译：薄膜;钨化合物;硅;重印;

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