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Compact, Low-Cost System for Sub-100 nm X-ray Lithography

机译：用于亚100nm X射线光刻的紧凑，低成本系统

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作者
Moel, A.; Schattenburg, M. L.; Carter, J. M.; Smith, H. I.;
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年度 1990
页码
总页数 5
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Lithography; Low costs; X rays; Reprints;

机译：光刻;低成本; X射线;重印;

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