首页> 美国政府科技报告 >Mems: Platform for Large-Scale Integrated Vacuum Electronic Circuits.

【24h】

Mems: Platform for Large-Scale Integrated Vacuum Electronic Circuits.

机译：mems：大规模集成真空电子电路平台。

获取原文

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Gilchrist, K. H.; Radauscher, E. J.; Parker, C. B.; Glass, J. T.;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2017
页码 1-10
总页数 10
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. High voltage microelectromechanical systems platform for fully integrated, on-chip, vacuum electronic devices [J] . Srividya Natarajan, Charles B. Parker, Jeffrey T. Glass, Applied Physicsletters . 2008,第22期

机译：用于完全集成的片上真空电子设备的高压微机电系统平台
2. Ultrathin TiN Membranes as a Technology Platform for CM OS-Integrated MEMS and BioMEMS Devices [J] . M. Birkholz, K.-E. Ehwald, P. Kulse, Advanced Functional Materials . 2011,第9期

机译：超薄TiN膜作为CM OS集成MEMS和BioMEMS器件的技术平台
3. Vacuum behavior and control of a MEMS stage with integrated thermal displacement sensor [J] . Krijnen B., Brouwer D. M., Abelmann L., Sensors and Actuators, A. Physical . 2015,第Null期

机译：集成热位移传感器的MEMS平台的真空行为和控制
4. High Voltage MEMS Platform for Fully Integrated, On-Chip, Vacuum Electronic Devices [C] . Srividya Natarajan, Charles B. Parker, Jeffrey T. Glass, IEEE International Vacuum Electronics Conference . 2008

机译：用于完全集成的片上的高压MEMS平台，现实的电子设备
5. Multiphysics Modeling and Simulation for Large-Scale Integrated Circuits. [D] . Lu, Tianjian. 2016

机译：大规模集成电路的多物理场建模和仿真。
6. Electronics: integrated circuits. [O] . J. C. Vickery 1968

机译：电子：集成电路。
7. Development of an Electronic Claim System Based on an Integrated Electronic Health Record Platform to Guarantee Interoperability [O] . Hwa Sun Kim, Hune Cho, In Keun Lee 2011

机译：基于集成电子健康录制平台的电子索赔系统开发，以保证互操作性

Mems: Platform for Large-Scale Integrated Vacuum Electronic Circuits.

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅