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One-Dimensional Collisional Model for Plasma-Immersion Ion Implantation

机译：等离子体浸没离子注入的一维碰撞模型

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作者
Vahedi, V.; Lieberman, M. A.; Alves, M. V.; Verboncoeur, J. P.; Birdsall, C. K.;
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作者单位

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年度 1991
页码
总页数 7
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Ion implantation; Plasmas(Physics); Reprints;

机译：离子注入;等离子体（物理）;重印;

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