Anspruchsvolle Laseranwendungen in Spektroskopie und Messtechnik basieren haufig auf wellenlangenspe-zifischen optischen Ubergangen. Speziell in der Prozesstechnologie zeigen viele relevante Atome (Silizium, Aluminium, Gold,...) Reso-nanziibergange im ultravioletten Spektral-bereich. In der Mikroskopie erhohen die bei kurzen Wellenlangen erzielbaren kleinsten Fokusdurchmesser das Autlosungsvermogen. In vielen Fallen werden hierfiir kontinuierlich betriebene UV-Laser benotigt. Die tech-nische Umsetzung dieser Anforderungen im ultravioletten Spektralbereich ist bis heute eine Herausforderung geblieben. Moderne Konzepte auf Basis frequenzverdoppelter und -vervierfachter Halbleiterlaser eroffnen eine Vielzahl neuer Moglichkeiten.
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