...
机译:低温下氧化硅与硅的晶片对晶片熔接
机译:低温下氧化硅与硅的晶片对晶片熔接
机译:硅,氧化硅和晶体石英的室温晶片键合
机译:硅,氧化硅和晶体石英的室温晶片键合
机译:低温晶片到晶片直接粘接硅氮化硅氮化硅的表征
机译:低温下基于氧化硅的表面的纳米键合:通过分子动力学和键合表面形貌,亲和力和自由能表征的键合相模型
机译:数据集用于比较真空处理和蚀刻后的多孔硅样品在低温下的氧化演化
机译:硅 - 硅(SOS):使用等离子体激活融合键合的新CMOS兼容的低温MEMS工艺
机译:俄歇参数测定薄氧化氮化硅上的键合态