机译:压阻CMOS传感器用于面外法向应力
CMOS; Mechanical stress; Out-of-plane; Piezoresistive sensors; Vertical;
机译:压阻CMOS传感器用于面外法向应力
机译:压阻CMOS兼容传感器,用于面外剪切应力
机译:用于热负荷条件工程应用的基于CMOS的压阻式应力传感器的精度:理论综述和实验验证
机译:使用新型压电电阻CMOS传感器评估面外正常应力检测的准确性
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:MEMS压阻外平面外剪切和正常应力传感器的建模与设计
机译:用于压阻式压力传感器的集成CmOs电路,重点是热灵敏度偏移补偿