Performance enhancement for piezoresistive microaccelerometer by geometrical design: a focused review

Liu Yan; Wang Hai; Qin Hongbo; Xie Yongqiang

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Performance enhancement for piezoresistive microaccelerometer by geometrical design: a focused review

机译：通过几何设计提高压阻式微加速度计的性能：重点综述

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Purpose - This paper aims to provide a focused review on the geometrical designs for performance enhancement of piezoresistive microaccelerometers.

机译：目的-本文旨在对用于提高压阻式微加速度计性能的几何设计进行重点综述。

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来源
《Sensor Review》 |2015年第3期|共9页
作者
Liu Yan; Wang Hai; Qin Hongbo; Xie Yongqiang;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类 TP212;
关键词
Sensors; MEMS;

机译：传感器;MEMS;

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