Monolithischer Durchflusssensor fur Gase und Flussigkeiten

摘要

Durchflusssensoren zur Messung von Volumen- und Massenstromen von Gasen und Flussigkeiten werden in einer Vielzahl von Anwendungen im industriellen Bereich, aber beispielsweise auch in der Medizintechnik benotigt. Ein moglichst universell verwendbarer Sensor muss daher unterschiedlichste Forderungen erfullen: Zum einen sollte er in einem weiten Temperatur- und Messbereich einsetzbar und widerstandsfahig gegenuber Abrieb und aggressiven Medien sein, zum anderen erfordert der flexible Einbau in verschiedenste Apparaturen oft eine extreme Miniaturisierung.