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Unambiguous measurement of surface profile using a Sagnac interferometer with phase feedback

机译:使用带相位反馈的Sagnac干涉仪进行表面轮廓的明确测量

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摘要

The fringe prgfiles from a two beam intefferometer with phase feedback are almost unambiguous over a range of 2π or more. This allows phase and therefore surface profile to be determined directly from output intensity of an interferometer. In this paper we describe how feedback can be applied to a polarisation Sagnac common path interferometer using a parallel aligned nematic liquid crystal spatial light modulator. Initial experiments have shown that the device is capable of measuring profiles to accuracies grater than one tenth of a wavelength.
机译:在具有2π或更大的范围内,带有相位反馈的两光束干涉仪的条纹prgfile几乎是明确的。这允许直接从干涉仪的输出强度确定相位并因此确定表面轮廓。在本文中,我们描述了如何使用平行排列的向列液晶空间光调制器将反馈应用于偏振Sagnac共路径干涉仪。初步实验表明,该设备能够测量轮廓,精确度超过波长的十分之一。

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