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【24h】

ACHROMATIC PHASE-SHIFTING FOR TWO-WAVELENGTH PHASE-STEPPING INTERFEROMETRY

机译:两种波长相移干涉法的相移

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摘要

Achromatic phase-shifting can be used with two-wavelength illumination in a polarization interferometer to provide a quick and simple method for profiling surfaces exhibiting steps with heights of a few micrometres. [References: 8]
机译:消色差相移可与偏振干涉仪中的两波长照明一起使用,以提供一种快速简单的方法来对具有几微米高的台阶的表面进行轮廓分析。 [参考:8]

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