Le diamant pour l'electronique de puissance - Developpement des technologies associees

摘要

La realisation de composants de puissance en diamant necessite la mise en place d'une nouvelle filiere technologique complete. Nous avons developpe pour cela une plate-forme de simulation sur le logiciel SENTAURUS TCAD et les premieres briques technologiques (contacts ohmiques, gravure) necessaires a la conception et la realisation de composants sur diamant CVD. L'utilisation du diamant CVD comme dissipateur thermique est egalement abordee par simulation et validee par un demonstrateur.