金属シェルに覆われた導電性ポリマー次世代エレクトロニクスの微細配緑

摘要

次世代エレクトロニクス磯静に搭載される3次元LSIの縦型配線やフレキシブルメモリ等の電極の材料には、高周波電導性や柔軟性といった特性が必要とされる。そのため、本研究では金属の殻（シェル）に覆われた導電性ポリマーの研究開発を希っている。