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Anisotropic, hierarchical surface patterns via surface wrinkling of nanopatterned polymer films

机译:通过纳米图案化的聚合物膜的表面起皱产生的各向异性的分层表面图案

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摘要

By combining surface wrinkling and nanopatterned polymer films, we create anisotropic, hierarchical surfaces whose larger length-scale (wrinkling wavelength) depends intimately on the geometry and orientation of the smaller length-scale (nanopattern). We systematically vary the pattern pitch, pattern height, and residual layer thickness to ascertain the dependence of the wrinkling wavelength on the nanopattern geometry. We apply a composite mechanics model to gain a quantitative understanding of the relationship between the geometric parameters and the anisotropy in wrinkling wavelength. Additionally, these results shed light on the effect of surface roughness, as represented by the nanopattern, on the metrology of thin films via surface wrinkling.
机译:通过将表面起皱和纳米图案化的聚合物膜结合在一起,我们创建了各向异性的,分层的表面,其较大的长度比例(起皱波长)直接取决于较小的长度比例(纳米图案)的几何形状和方向。我们系统地改变图案间距,图案高度和残留层厚度,以确定起皱波长对纳米图案几何形状的依赖性。我们应用复合力学模型来定量了解几何参数与起皱波长的各向异性之间的关系。另外,这些结果揭示了以纳米图案为代表的表面粗糙度通过表面起皱对薄膜计量学的影响。

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