Simulation von Aktivierungs- und Beschichtungsprozessen mit Atmospharendruckplasmen: Machbarkeit und Prozessparameter virtuell ermitteln

摘要

Die Aktivierung und Beschichtung mit Atmospharendruckplasmen bietet hei zahlreichen Anwendungen entscheidende Vorteile (Bild 1). Vor der Implementierung eines Plasmaprozesses in die Fertigung geht es darum, die thermische Belastung des Substrats zu ermitteln. Dies erfolgt bisher ublicherweise zeit- und kostenaufwendig empirisch. Um diesen Prozess deutlich zu verkurzen und kostengunstig zu gestalten, hat Reinhausen Plasma eine Simulationssoftware fur Atmospharendruck-Plasmaprozesse entwickelt.