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机译:用于红外检测的微加工热电堆综述
review; thermal detector; infrared; micromachined; sensor; optical; Seebeck; thermoelectric; thermocouple; thermopile; THERMOELECTRIC RADIATION SENSORS; HIGH-SENSITIVITY; ABSORBER STRUCTURES; THERMAL DETECTORS; CMOS TECHNOLOGY; FLOW SENSOR; FABRICATION; TEMPERATURE; DESIGN;
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机译:具有自支撑$ {rm SiO} _ {2} / {rm SU} {-} 8 $膜的微机械热电堆红外传感器的设计
机译:基于ALGAAS-GAAS微型化学的红外热敏传感器
机译:采用单面体硅微加工技术制造的微小尺寸超灵敏红外热电堆
机译:由具有声子晶体结构和碳纳米管吸收层的绝缘体上硅制成的MEMS红外热电堆。
机译:亚波长矩形孔阵列提高了CMOS兼容热电堆的红外吸收率
机译:IP9 - IC兼容的微机械红外热电探测器阵列中的热交叉串联