Mehr Wirkungsgrad und Stabilitat: Eine neue, leistungsstarke HF-Stromquelle absorbiert reflektierte Leistung

摘要

Insbesondere in der Halbleiterindustrie konnen die Ausfallkosten fur einen Silizium-Wafer, der durch einen ausser Kontrolle geratenen Plasmaprozess zerstort wird, sehr hoch sein. In diesem Zusammenhang kommt den Eigenschaften der HF-Stromquellen grosse Bedeutung zu.