Optimierung durch Simulation: Simulationssystem SimCoat zur Optimierung der PVD-Beschichtung

摘要

Die Vakuumbogenbeschichtung stellt eine einfache und effektive Moglichkeit zur Herstellung von tribologisch harten Schutzschichten fur Komponenten und Werkzeuge dar. Allerdings weisen die fur die Beschichtung verwendeten Anlagen eine Vielzahl von Ausgangsparametern und Betriebsbedingungen auf, die einen grossen Einfluss auf die erzielten Schichten haben. Aus diesem Grund wurde im Fraunhofer IWS eine dreidimensionale Prozesssimulation entwickelt, die im Vorfeld die Berechnung der resultierenden Schicht- und Prozesseigenschaften ermoglicht. Durch die daraus gewonnenen Erkenntnisse wird eine Optimierung der Beschichtung moglich, wodurch der experimentelle Aufwand auf ein Minimum reduziert wird.