Grobvakuum statt Hochvakuum: Vielfaltige Einsatzbereiche fur Plasmaquellen in der Oberflachentechnik

摘要

Plasma ist ein hochenergetisches Gas, das zur Behandlung von verschiedensten Oberflachen und fur Reaktionen in der Gasphase eingesetzt wird. Das Spektrum an Verfahren reicht von vielfaltigen Beschichtungen bis zum gezielten Reinigen oder Atzen von Oberflachen.