Hermetic capacitive pressure sensors for biomedical applications

Diaz-Alonso Daniela; Moreno-Moreno Mario; Zuniga Carlos; Molina Joel; Calleja Wilfrido; Carlos Cisneros Juan; Nino de Rivera Luis; Ponomaryov Volodymir; Gil Felix; Guillen Angel; Rubio Efrain

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Hermetic capacitive pressure sensors for biomedical applications

机译：用于生物医学应用的密封电容式压力传感器

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Purpose - This paper aims to purpose the new design and fabrication scheme of Touch Mode Capacitive Pressure Sensor (TMCPS), which can be used in a wireless integrated resistor, inductor and capacitor circuit for monitoring pressure in biomedical applications.

机译：目的-本文旨在采用触摸模式电容式压力传感器（TMCPS）的新设计和制造方案，该方案可用于无线集成电阻器，电感器和电容器电路中，以监控生物医学应用中的压力。

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来源
《Microelectronics international: Journal of ISHM--Europe, the Microelectronics Society--Europe》 |2016年第2期|共8页
作者
Diaz-Alonso Daniela; Moreno-Moreno Mario; Zuniga Carlos; Molina Joel; Calleja Wilfrido; Carlos Cisneros Juan; Nino de Rivera Luis; Ponomaryov Volodymir; Gil Felix; Guillen Angel; Rubio Efrain;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
Biomedical sensors; Polyimide films; Pressure sensors; Surface micromachining; Touch-Mode capacitive devices;

机译：生物医学传感器;聚酰亚胺薄膜;压力传感器;表面微加工;触摸模式电容设备;

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