Erschwingliche Vibrationsmessung und Regelung

Wolfgang Klinker

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Erschwingliche Vibrationsmessung und Regelung

机译：经济的振动测量和调节

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Ein Pendel-Sensorelement aus hochreinem Silizium mit dreilagiger Sensorstruktur sowie ein spezielles Verschlussverfahren, mit dem das Pendel in einem Dampfungsgas absolut hermetisch dicht eingeschlossen wird, bewirken einen robusten Sensorbetrieb mit hoher Langzeitstabilitat.

机译：由具有三层传感器结构的高纯度硅制成的摆锤传感器元件以及一种特殊的锁定方法，通过这种方法绝对可靠地将摆锤密封在阻尼气体中，从而实现了坚固耐用的传感器操作并具有很高的长期稳定性。

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来源
《Messen Prufen Automatisieren》 |2011年第2期|共3页
作者
Wolfgang Klinker;
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原文格式 PDF
正文语种 ger
中图分类自动化基础理论;
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