Cercetari privind obtinerea de straturi subtiri din (Ti, Al, V)N printr-o metoda de depunere cu descarcare cu catod cilindric in regim de arc

摘要

Lucrarea prezinta cercetarile efectuate in obtinerea UNor "filme subtiri de (Ti, Al, V)N prin procedeul de descarcare cu catod cilindric in regim de arc, in plasma, pe suport de aliaj dur siaterizai din sistemul WC-Co. Investigatiile efectuate au cuprins analize de difractii cu raze X, microscopie scanning si spectroscopie de raze X cu dispersie de energie (EDAX). Rezultatele obtinute au permis stabilirea unor corelatii intre parametrii procesului de depunere si ueels caracteristici structurale si morfologice ale straiului depus.