机译:尺寸计量中使用的表面温度传感器的校准程序
机译:尺寸计量中使用的表面温度传感器的校准程序
机译:用于铬光掩模的非接触式临界尺寸计量传感器,采用低温共烧陶瓷技术
机译:基于alpha形状的表面度量和尺寸度量的形态学方法
机译:原位温度校准能力尺寸计量
机译:用于铬光掩模的非接触式临界尺寸计量传感器,采用低温共烧陶瓷技术实现。
机译:薄膜传感器阵列相对局部表面温度的实时二维映射
机译:审查当前的热成像温度校准和评估设施,实践和程序,跨越欧洲特(欧洲Metrology Institutes)