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松下電器産業株式会社先端技術研究所;
東京工業大学大学院総合理工学研究科;
東京大学大学院工学系研究科Advanced Technology Research Laboratories, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., 3-4 Hikaridai, Seika-cho, Soraku-gun, Kyoto-fu, 619-0237 JapanDepartment of Advanced Applied Electronics, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, 226-8502 JapanDepartment of Precision Machinery Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, 113-8656 Japan;
弾性表面波; アクチエエータ; エネルギー環流; 高効率化; MEMS;