注目集める金属不純物自動測定モニター洗浄液中の金属汚染をリアルタイムで管理

摘要

半導体#12539;液晶関連の化学応用技術を得意とするアドテック（本社：東京都渋谷区）が開発した金属不純物自動測定モニター「FIAMO（フィアモ）」が半導体メーカーの注目を集めている。 ウエーハ洗浄液をはじめ製造に使う様々な薬液をリアルタイムで監視で苦る同機は，プロセス技術の進化と量産時の歩留まり向上の両立に取り組む半導体メーカーにとって強力なツールになるからだ。