Hochvakuumofen - Ein Vergleich der Konzepte und ihrer Umsetzung

摘要

Elektrisch beheizte Hochvakuumofen werden fur viele thermische Verfahren verwendet. Zur Erzeugung des Vakuums und zur Druckmessung werden bei allen Anlagen die gleichen Komponenten benotigt. Bei der Gestaltung der Ofen haben sich zwei sehr unterschiedliche Anlagenkonzepte herausgebildet. In dem Beitrag werden beide Konzepte vorgestellt und miteinander verglichen. Daraus werden Vorzuge und Nachteile abgeleitet. Dem Ofenbetreiber stehen somit Entscheidungshilfen fur die Auswahl der benotigten Anlage zur Verfugung. Weiter werden einige Anlagen gezeigt. Dabei wird kurz auf die fur die gewunschte Technologie notwendigen peripheren Komponenten eingegangen.