LSI製造力“作る”から“見る“へ

摘要

検査#12539;解析技術が，LSIの“製造力”を左右するようになった。 1970年代以降2000年ころまで，LSI製造力はプロセス技術そのものと言えた。 ここへ来て，製造装置によって汎用的になりつつあるプロセス技術に変わって，ノウハウの塊とも言える検査#12539;解析技術が脚光を浴び始めている。 事業の収益を大きく支配するようになったからである。多層配線の内部には，Cuやlow-k（低誘電率）絶縁膜など新材料に起因する欠陥が潜むようになり，これをいかに発見し，いかに早く解決するかが，開発期間，歩留まり，製造工期など納品ほでのLSI製造力を決める。