Revolutionares Geratekonzept von Carl Zeiss SMT uberzeugt Halbleiterkonsortium

摘要

Die Semiconductor Metrology Systems Division (SMS) von Carl Zeiss SMT hat sich bei einer internationalen Ausschreibung fur ein Messsystem zur Fertigung von Mikrochips durchgesetzt. Die Neuentwicklung ermoglicht die Positionsvermessung von Strukturen auf Photomasken mit einer Genauigkeit von unter einem Millionstel Millimeter. Photomasken enthalten die Strukturvorlagen von Mikrochips. Fur die SMS bedeutet die Entscheidung den Aufbau einer komplett neuen Produktlinie, welche das Portfolio der SMS mit Systemen zur Inspektion und Reparatur von Photomasken hervorragend erganzt.