Der Vorstoss in feinste Erodierbewegungen: 0,1 μm-Verfahrweg

摘要

"Es ist einfach, von nanometrischen Auflosungen zu sprechen und so etwas am Computer vorzufuhren. Einer Maschine aber den Steuerbefehl zu geben; Bewege dich um 0,1 μm, und das auch auszufuhren, ist eine ganz andere Sache und verlangt ein neues Antriebskonzept", meint Dr. Ivano Beltrami, Leiter Forschung der Agie SA. Die Losung Ist eine parallele Kinematik mit elastischen Bewegungen, ohne Reibung, Stick-slip und Umkehrfehler.