0,1 mu m-Verfahrweg

摘要

Vom funfachsigen Frasen her bekannt sind Spindelkopfe, die an Plattformen von Stabkinematiken befestigt sind. Bekannt ist auch, dass solche Hexapod-Konstruktionen die konventionellen Antriebskonzepte nur erganzen, sie nicht ablosen konnten. Die Voraussetzungen, mit ahnlich innovativen Konzepten in der Funkenerosion im Mikrometerbereich (1 mu m = ein tausendstel Millimeter) oder im Nanometerbereich (1 nm = ein tausendstel Mikrometer) etwas zu bewegen, sind aber besser. Die Erodiertechnik ist ein quasi kraftfrei wirkendes Bearbeitungsverfahren. Beschrankt man den Arbeitsbereich im Hinblick auf die Mikroerosion auf etwa einen Kubikzentimeter, wird es moglich, die Elastizitat von Werkstoffen zur gezielten Deformation zu nutzen und eine Plattform in den Achsen X und Y nm- genau zu steuern.