Comparison of optical position detectors in a force controlled displacement probe

Wei Gao; Shuichi Dejima; Yoritaka Hosoda; Satoshi Kiyono

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Comparison of optical position detectors in a force controlled displacement probe

机译：力控制位移探头中光学位置检测器的比较

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来源
《International Journal of the Japan Society for Precision Engineering》 |1999年第1期|共2页
作者
Wei Gao; Shuichi Dejima; Yoritaka Hosoda; Satoshi Kiyono;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类仪器、仪表;
关键词
Measurement; Optical sensor; Displacement; Angle; Force control; Cantilever; Position sensitive device; Photo diode;

机译：测量;光学传感器;位移;角度;力控制;悬臂;位置敏感装置;光电二极管;

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1. Comparison of optical position detectors in a force controlled displacement probe [J] . Wei Gao, Shuichi Dejima, Yoritaka Hosoda, International Journal of the Japan Society for Precision Engineering . 1999,第1期

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