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【24h】

Ultraschall-Bonden mit Kupfer-Aluminium-Manteldraht

机译:铜铝护套线超声波键合

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摘要

Das Ultraschall-Bonden von Aluminium-Dickdrahten ist eine Standardtechnologie fur die Substrat-zu-Substrat- oder Substrat-zu-Gehause-Kontaktierung sowie fur die Kontaktierung von Leistungshalbleitern. Dabei treten unter mechanischer Belastung (z.B. durch Temperaturwechsel oder Vibration) immer wieder Kontaktversagen durch einen Bruch im Heelbereich auf, welcher bereits durch den Bondprozess am starksten vorgeschadigt wird. Zudem ist das Aluminiummaterial, bedingt durch eine Anderung der Gefugestruktur, anfallig fur Ermudungseffekte bei hoheren Temperaturen (>175℃). In der jungeren Vergangenheit wurden daher zunehmend Entwicklungen zur Bonddrahtoptimierung vorangetrieben, um die erwahnten Nachteile zu reduzieren bzw. zu eliminieren. Eine dieser Entwicklungen ist ein Zwei- Komponenten-Draht aus Aluminium (Mantel) und Kupfer (Kern), welcher in der Ausfuhrung mit 125μm Durchmesser Gegenstand der Untersuchungen war. Es wurden die mechanischen Drahteigenschaften (Dehnung, Reisslast) im Vergleich zu klassischen Aluminium-Drahten bei verschiedenen Temperaturen ermittelt. Weiterhin wurden Unterschiede in der Bondbarkeit durch Bondparameterstudien auf unterschiedlichen Metallisierungen evaluiert. Die Verbindungsbildung im Interface zwischen Bonddraht und Substratmetallisierung wurde anhand von FIB-Querschnitten rasterelektronenmikroskopisch und mittels Transmissionselektronenmikroskopie analysiert und in Korrelation zu Schertestergebnissen bewertet.
机译:铝粗线的超声波键合是基板与基板或基板与封装接触以及功率半导体接触的标准技术。在机械应力下(例如由于温度变化或振动),由于脚跟区域的断裂,接触失效会一次又一次地发生,而脚跟区域已经受到粘接过程最严重的损坏。此外,由于微观结构的变化,铝材料在较高温度(>175°C)下容易受到疲劳效应的影响。因此,最近,为了减少或消除上述缺点,在键合线优化方面取得了越来越多的进展。其中一项发展是由铝(护套)和铜(芯)制成的双组分电线,这是直径为 125μm 的版本的研究对象。与传统铝线在不同温度下相比,测定了线材的机械性能(伸长率、拉伸载荷)。此外,通过对不同金属化的键参数研究评估了粘接性的差异。利用FIB截面,通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜分析了键合线与基板金属化界面的连接形成,并与剪切试验结果进行了相关性评估。

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